កាបូន Tetrafluoride (CF4) ឧស្ម័នបរិសុទ្ធ

1. ការផលិត semiconductor: CF4 ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចសម្រាប់ដំណើរការប្លាស្មា និងការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD)។ វាជួយក្នុងការ etching ភាពជាក់លាក់នៃ wafers ស៊ីលីកូន និងសម្ភារៈផ្សេងទៀតដែលប្រើនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ។ ភាពអសកម្មគីមីរបស់វាមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការទប់ស្កាត់ប្រតិកម្មដែលមិនចង់បានក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការទាំងនេះ។

2. ឧស្ម័ន Dielectric: CF4 ត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាឧស្ម័ន dielectric នៅក្នុងឧបករណ៍អគ្គិសនីដែលមានតង់ស្យុងខ្ពស់ និងឧបករណ៍ប្តូរឧស្ម័នដែលមានអ៊ីសូឡង់ (GIS)។ កម្លាំង dielectric ខ្ពស់របស់វា និងលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់ការប្រើប្រាស់នៅក្នុងកម្មវិធីទាំងនេះ។

3. ទូរទឹកកក៖ CF4 ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់ជាទូរទឹកកកនៅក្នុងកម្មវិធីសីតុណ្ហភាពទាបមួយចំនួន ទោះបីជាការប្រើប្រាស់របស់វាមានការថយចុះដោយសារតែការព្រួយបារម្ភអំពីបរិស្ថានជុំវិញសក្តានុពលនៃការឡើងកំដៅផែនដីខ្ពស់របស់វាក៏ដោយ។

4. ឧស្ម័ន Tracer: វាអាចត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័ន tracer នៅក្នុងដំណើរការរាវរកការលេចធ្លាយ ជាពិសេសសម្រាប់កំណត់អត្តសញ្ញាណការលេចធ្លាយនៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលីខ្ពស់ និងឧបករណ៍ឧស្សាហកម្ម។

5. Calibration Gas: CF4 ត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នក្រិតនៅក្នុងឧបករណ៍វិភាគឧស្ម័ន និងឧបករណ៍រាវរកឧស្ម័ន ដោយសារលក្ខណៈសម្បត្តិដែលគេស្គាល់ និងមានស្ថេរភាព។

6. ការស្រាវជ្រាវ និងការអភិវឌ្ឍន៍៖ វាត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងការស្រាវជ្រាវមន្ទីរពិសោធន៍ និងការអភិវឌ្ឍន៍សម្រាប់គោលបំណងផ្សេងៗ រួមទាំងវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ គីមីវិទ្យា និងពិសោធន៍រូបវិទ្យា។

ចំណាំថាកម្មវិធី និងបទប្បញ្ញត្តិជាក់លាក់សម្រាប់ការប្រើប្រាស់សម្ភារៈ/ផលិតផលនេះអាចប្រែប្រួលទៅតាមប្រទេស ឧស្សាហកម្ម និងគោលបំណង។ អនុវត្តតាមការណែនាំសុវត្ថិភាពជានិច្ច ហើយពិគ្រោះជាមួយអ្នកជំនាញ មុនពេលប្រើប្រាស់សម្ភារៈ/ផលិតផលនេះនៅក្នុងកម្មវិធីណាមួយ។